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鹰眼6号光谱仪

●UV强化背照式制冷型传感器，降温25度
●紫外 (180~400nm) 强化机种，应用波段180~1100nm
●稳定的温度控制和精准的量测性能
●椭偏仪、膜厚量测、高阶LED量测较优选择
●高灵敏度、高SNR、超高分辨率、低热噪讯、低杂散光（杂散光比例可达0.01％）

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鹰眼系列光谱仪分別使用3款NIR和UV增强背照式制冷型传感器c(Back-thinned TEC Sensor) 及高性能32bits RISC微控制器，具有卓越的灵敏度、高光学分辨率 (可依使用者所需选配0.2~10 nm)、高讯杂比 (=500)、高动態范围 (=5000) 、低热噪讯等高阶性能。

完善的制冷系统设计能降温25度，搭配OtO自主开发「杂散光校正」演算法，將杂散光比例降至0.01%，在长时间曝光的情况下，也能保有稳定的温度控制 (<0.015nm /℃) 和精准的量测性能，使得鹰眼6號適合全波长 (180 -1100 nm) 范围量测，为椭偏仪、膜厚量测、高阶LED量测较优选择。

鹰眼6號光谱仪 - 仪器特性：

● UV强化背照式制冷型传感器，降温25度
● 紫外 (180~400nm) 强化机种，应用波段 180~1100nm
● 稳定的温度控制和精准的量测性能
● 椭偏仪、膜厚量测、高阶LED量测较优选择
● 高灵敏度、高信噪比、超高分辨率、低杂散光 (杂散光比例可达0.01%)
● 优异的「温湿度」与「撞震」稳定性
● 可选配「连续高速曝光」模式 (Continuous High-Speed Exposures)
● 免费图谱处理软件 (SpectraSmart)，提供您较好的用户体验，技术和支持

类別	型號	波长范围	狭缝	波长分辨率	讯杂比	动態范围	曝光时间	热稳定性
椭偏仪	EE2061	180~1100 nm	50 um	2.2 nm	500	5000	5ms~65sec	<0.04 nm/℃

光谱仪性能一览

项目	规格
光学设计	Unfolded Czerny-Turner
型號	EE2051	EE2061	EE2091
波长范围	500~1100 nm	180~1100 nm
CCD Cooling	室温 25℃ 可降至 0℃
CCD	近红外增强背照式制冷型传感器	紫外增强背照式制冷型传感器	紫外增强背照式快速曝光 (1.5ms) 制冷型传感器
光学分辨率 (nm)	0.4~10nm	0.2 ~10nm
入口狭缝宽度	10, 25, 50, 100, 200, 300 um
讯杂比	500
动態范围	5000
曝光时间	5 ms ~ 65sec		1.5 ms ~ 65sec
光讯息参数即时计算	V
UART	V
连续高速曝光模式	V
最佳应用	拉曼量测	椭偏仪、膜厚量测、高阶LED量测

仪器规格

项目	规格
CPU	ARM9
A/D 转换器	15MHZ, 16bit
传输介面	USB 2.0
电源	电源需求(USB): 330mA at +5 VDC 制冷插孔电源需求: 500mA at 5VDC
开机时间	<4 sec
尺寸	130 x 86 x 32 mm
重量	500 g

datesheet 2018-03-28